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无尘车间可以分为以下几个级别: 一、 1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。 二、 10级无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 三、100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用...
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