层流罩乃是洁净室中能够将操作员与产品进行屏蔽隔离的设备当中的一种,其主要的用途在于极力避免产品遭受污染,而层流罩的气体流向是相对比较特殊的。接下来为大家进行详细的介绍。
层流罩主要是由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等等部件所组成。它是从洁净室当中吸取空气,然后借助于顶部增压舱里面安装的风扇作为动力,通过 HEPA 过滤垂直穿过操作区域,从而为关键区域提供达到 ISO 5(级别 100)的单向流空气。产生的废气则是从下面排出,重新返回洁净室区域。
洁净室层流罩的气体流向具体为:首先从洁净室吸取空气,接着采用顶部增压舱里安装的风扇充当动力来源,然后空气通过 HEPA 高效过滤器进行过滤,之后垂直穿过操作区域,进而为关键区域提供 ISO 5(级别 100)的单向流空气,最后废气从底部排出,再度返回洁净室区域。
在整个过程当中,空气以特定的风速通过高效过滤器进行过滤之后,进而形成均流层,促使洁净空气呈现出垂直单向流动的态势,如此一来便有力地保证了工作区内能够达到工艺所要求的洁净度。
洁净室层流罩实现气体分布的方式呈现如下情况:
1、充分利用层流的原理,将进入设备的空气极为均匀地分布在工作面上,进而形成一层洁净的空气层。
2、空气以既定的风速通过高效过滤器进行过滤之后,再经过阻尼层进行均压处理,使得洁净空气呈现出单向流的状态送往工作区,以此来获取工作保护区所需要的流型和洁净度。
3、这样的设计能够行之有效地将操作员与产品进行屏蔽隔离,切实避免产品受到污染。
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