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超净间，亦被称作无尘室、洁净室等，其实是电子和半导体行业对无尘车间的一种习惯叫法。接下来，小编就给大家详细介绍这种车间吧。
原理
超净间借助高效过滤器对流入室内的空气予以过滤，过滤材料通常选取静电纤维、活性炭、高效滤纸等，具备颇高的过滤效率与较低的阻力。经过滤后的空气通过输送系统传送至室内，为保障空气输送的洁净程度，通常会对风管和送风口实施密封处理。部分超净间还会凭借空气消毒设备对输送至室内的空气进行杀菌、灭活操作。
等级划分
- 依照国际标准 ISO 14644-1：将超净间划分为 1 至 9 级，数字越小，对空气净化效果的要求越高。
- 依据美国联邦 209E 标准：将超净间分为百级、千级、万级、十万级等，同样数字越小，对空气净化效果的要求越高。
结构组成
- 净化空调机组：承担对空气的处理工作，涵盖过滤、加热、冷却、加湿、除湿等环节。
- 送风管道和回风管道：用于空气的输送与循环，确保空气在超净间内实现均匀分布。
- 静压箱：促使空气在进入高效过滤器之前能够均匀散布，提升过滤成效。
- 高效过滤器：乃是超净间的核心构件，能够切实过滤空气中的微粒、有害气体、细菌等污染物。
- 多孔扩散板：使过滤后的空气均匀地扩散至超净间内，规避产生气流死角。
- 超净间吊顶、隔断：用于对超净间进行分隔和封闭，通常采用彩钢板、不锈钢板等材料，具有优良的密封性与耐腐蚀性。
- 百叶回风口和新风口：用于回风与新风的进入，保证超净间内的空气循环和新鲜空气的补充。
应用领域
- 电子制造：于芯片制造、集成电路封装、液晶面板生产等流程中，超净间提供洁净、无尘的工作环境，有效规避电子元件遭受污染和损坏，确保产品的高性能和高可靠性。
- 生物医药：在药物研发、疫苗生产、基因工程、细胞培养等关键环节里，超净间为实验人员营造一个洁净、无菌的工作环境，防止微生物污染和交叉感染，保障药品和生物制品的质量与安全性。
- 食品加工：在食品的包装、检测等环节，超净间确保环境卫生，减少微生物污染，保证食品质量和安全，延长食品的保质期。
- 航空航天：在航空航天产品的制造和研发进程中，超净间提供高度洁净的工作环境，确保产品质量和性能，防止微小的污染物对精密仪器和设备造成影响。
建设和维护成本
- 建设成本：超净间的建设成本颇高，主要涵盖净化空调系统、高效过滤器、彩钢板隔断、防静电地板等设备和材料的采购费用，以及施工安装费用等。建设成本依据超净间的等级、面积、结构复杂程度等因素而有所差异，一般而言，百级超净间的建设成本高于千级、万级超净间。
- 维护成本：超净间的维护成本亦较高，主要包含定期更换空气过滤器、消毒设备的维护和保养、温湿度控制系统的校准等费用。此外，超净间的运行需要消耗大量的能源，如电力、蒸汽等，这也增添了运行成本。
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