百级洁净车间装修公司对通风设备噪声的控制

2020-10-14 08:41 昆山清阳净化系统工程有限公司

百级洁净车间装修公司对通风设备噪声的控制

超大规模集成电路技术的迅速发展，促使工艺对圆片生产环境提出更高的要求。尤其是随着集成度的增加，圆片加工次数的增多，圆片受污染的可能性也在成倍增加。加之圆片的加工尺寸已进入亚微米时代，加工环境受控微粒的特征尺寸已随之细化，圆片成品率对环境洁净度的依赖性日趋加强。据分析，圆片的成品率与圆片的缺陷密度息息相关，而圆片的缺陷密度又与空气中的粒子个数有关。因此，控制生产环境中特征尺寸的微粒个数显得十分重要。本文对百级洁净车间通风设备噪声控制进行了探讨。

什么是洁净车间技术？，可以把洁净车间技术分成三大范畴。这些范畴与洁净车间用户对技术的应用是对应的， 即从他决定建造洁净车间开始，最后到洁净车间运行为止。 

百级洁净车间通风设备的选择 

其中，Z 为局部阻力损失，P a；ξ为局部阻力系数；υ 为空气流速，m/s；ρ为空气密度，k g/m3。 

高效过滤器的实际压力损失为额定压力损失的 0.4322 倍，即初阻力为 34.7 Pa，终阻力为 69.4 Pa。所以，在选择循环风机时，在满足了风量要求的前提下，风机全压可大幅度减少，自然风机噪声及耗电量也就降低了。

洁净车间控制噪音的方法：

控制设备噪声首先应从声源上着手，设计时应选用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济的原因而难于做到时，则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如，把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间，或技术夹道或服务区内，洁净室噪声有明显的降低。 

洁净车间的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。