洁净厂房装修设计平面布局的重要性

2021-05-06 13:20 昆山清阳净化系统工程有限公司

洁净厂房装修设计平面布局的重要性

生产设备的平面布局也是电子洁净厂房设计的重要内容。电子洁净厂房无尘车间形式一般有隧道式(或称港湾式)、开放式、岛形布置等。据调查表明，集成电路芯片制造用洁净室一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂，生产设备横跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。目前8英寸、12英寸芯片制造工厂普遍采用“开放式洁净室加微环境”的方式，将芯片制造过程对空气洁净度要求十分严格的硅片加工过程(1-4 级)布置在微环境装置内，而开放式洁净室的洁净度等级只需 5-6 级，这种洁净室形式既可实现设备布置的灵活性，又能减少建设投资、降低能耗和运行费用。

工作人员是洁净室内尘埃微粒的主要来源。在工艺设计中，一方面应该尽量选择自动化程度较高的生产及运输设备以便减少洁净室内的人员数量，另一方面，也应该根据洁净室内不同的洁净区域，合理地设计工作人员的行走路线和原材料、成品的运输路线以尽可能地减少交叉污染。

另外，由于电子产品更新换代快在电子工厂的实际生产中在线维修及调试、边生产边增加设备的情况很多，因此在进行工艺布局时应根据具体情况，考虑这些因素，留出相应的运作空间

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